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技術(shù)應(yīng)用

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Zheng et al., 2012 - MFT-4000

來源:  華匯儀器   作者:  D. Hosner   時間:  2016-10-29  點擊:   1157 次

Zheng, J.Y., Hao, J.Y., Liu, X.Q., Liu, W.M., Properties of TiN/TiCN multilayer films by direct current magnetron sputtering. Journal of Physics D: Applied Physics (45, 9), Article id. 095303, 2012, 9pp.